工业电子超纯水设备大多采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

工业电子超纯水设备性能：

1、超纯水设备反渗透系统采用全自动方式控制，主要元件采用进口元件，稳定性高，操作简单方便。

2、超纯水设备配备浓水调节阀，操作方便。

3、超纯水设备配备有紫外线及膜滤器，防止细菌对EDI及水质的影响。

4、超纯水设备通过专业技术，确保EDI系统短时停机或长时间停机时水质保持稳定。

5、超纯水设备采用*EDI膜堆，性能稳定，使用寿命长，连续出水水质稳定无波动，“全填充"浓水室，不需加盐和浓水循环。

6、超纯水设备中的EDI流量计采用德国进口斯德宝品牌的带磁感应浮子流量计，可预防因浓水通道堵塞或其他设备故障引起的无浓水产水而对膜堆造成的损坏。

7、超纯水设备具有无水保护和高、低压力保护等多种装置安全功能。

8、超纯水设备所有控制采用全自动方式，主要元件采用进口元件，稳定性高，操作简单方便。